研判2025！中國半導(dǎo)體流量計行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈、市場規(guī)模及重點企業(yè)分析：行業(yè)發(fā)展支撐中國芯片精密制造，驅(qū)動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)工藝升級[圖]

內(nèi)容概況：半導(dǎo)體流量計作為半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵部件，廣泛應(yīng)用于氣體與液體流量的精確控制。隨著中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，芯片制造、封裝測試等環(huán)節(jié)持續(xù)擴張，對高精度、高性能半導(dǎo)體流量計的需求不斷增加。2024年，中國半導(dǎo)體流量計行業(yè)市場規(guī)模為12.3億元，同比增長9.82%。

相關(guān)上市企業(yè)：川儀股份（603100）

相關(guān)企業(yè)：廣東奧迪威傳感科技股份有限公司、北京志鴻恒拓科技有限公司、上海菱聯(lián)自動化控制技術(shù)有限公司、重慶川儀自動化股份有限公司、晶晨半導(dǎo)體（上海）股份有限公司、紫光國芯微電子股份有限公司、中科寒武紀(jì)科技股份有限公司、海光信息技術(shù)股份有限公司、大洋電機新動力科技有限公司、上海電驅(qū)動股份有限公司、北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司、中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司、拓荊科技股份有限公司、沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司

關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體流量計、半導(dǎo)體流量計市場規(guī)模、半導(dǎo)體流量計行業(yè)現(xiàn)狀、半導(dǎo)體流量計發(fā)展趨勢

一、行業(yè)概述

半導(dǎo)體流量計是專為半導(dǎo)體制造設(shè)計的高精度流量測量與控制設(shè)備，用于監(jiān)測和調(diào)節(jié)半導(dǎo)體工藝中液體或氣體的線性/非線性、質(zhì)量/體積流量。其核心特點是高精度（±0.5%FS以上）、耐腐蝕、寬量程（覆蓋sccm至slm級）、快速響應(yīng)（毫秒級），適配半導(dǎo)體行業(yè)對流體純凈度（如5N/6N級氣體）和工藝穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。典型應(yīng)用場景包括沉積、蝕刻、離子注入、清洗、CMP（化學(xué)機械拋光）等設(shè)備，以及氣體供應(yīng)系統(tǒng)、立式爐/臥式爐等。

二、行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈

半導(dǎo)體流量計行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游主要包括傳感器（如加熱元件、溫度傳感器、壓差式傳感器、超聲波傳感器、科里奧利傳感器等）、控制與執(zhí)行模塊（如微處理器、算法芯片、驅(qū)動電路、氟橡膠、PTFE密封圈，真空泵、過濾器等）、結(jié)構(gòu)與外殼（如鋁合金、不銹鋼、陶瓷、高純度石英玻璃等）等。產(chǎn)業(yè)鏈中游為半導(dǎo)體流量計生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)。產(chǎn)業(yè)鏈下游主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中，如沉積設(shè)備、蝕刻設(shè)備、立式爐/臥式爐/RTP等。

隨著工業(yè)自動化、智能制造的推進，對于高精度、高性能傳感器的需求不斷增加。壓力傳感器作為其中的關(guān)鍵部件，在汽車制造、航空航天、石油化工等多個領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用，市場需求的持續(xù)釋放推動了行業(yè)規(guī)模的擴大。2024年，中國壓力傳感器行業(yè)市場規(guī)模為714.2億元，同比增長9.79%。在半導(dǎo)體制造中，壓力傳感器通過精準(zhǔn)監(jiān)測工藝氣體壓力、控制沉積/蝕刻環(huán)境，直接保障芯片良率。例如，熱式質(zhì)量流量控制器（MFC）依賴壓力傳感器實現(xiàn)±0.5%FS的流量精度，適配sccm級氣體調(diào)控；壓差式流量計則通過層流壓差與流量線性關(guān)系，適配大流量腐蝕性氣體（如Cl?、NF?）輸送。此外，壓力傳感器在半導(dǎo)體設(shè)備狀態(tài)監(jiān)控、安全系統(tǒng)及環(huán)境控制中發(fā)揮關(guān)鍵作用，如維持潔凈室氣壓穩(wěn)定、監(jiān)測氣體泄漏等。

集成電路作為現(xiàn)代科技的核心部件，廣泛應(yīng)用于智能手機、電腦、汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)等多個領(lǐng)域。隨著5G通信、人工智能、大數(shù)據(jù)等新興技術(shù)的快速發(fā)展，市場對集成電路的需求持續(xù)攀升。特別是在5G智能手機的普及和物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備的廣泛應(yīng)用的推動下，集成電路的需求量大幅增加，這為中國集成電路產(chǎn)業(yè)的增長提供了廣闊的市場空間。2025年1-8月，中國集成電路產(chǎn)量為3429.1億塊，同比增長20.53%。而在半導(dǎo)體制造過程中，氣體與液體流量的精確控制至關(guān)重要，這使得半導(dǎo)體流量計成為制造設(shè)備中不可或缺的關(guān)鍵部件。隨著集成電路產(chǎn)量的大幅增加，對半導(dǎo)體流量計的需求也相應(yīng)增長。

相關(guān)報告：智研咨詢發(fā)布的《中國半導(dǎo)體流量計行業(yè)市場動態(tài)分析及投資趨勢研判報告》

三、市場規(guī)模

半導(dǎo)體流量計作為半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵部件，廣泛應(yīng)用于氣體與液體流量的精確控制。隨著中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，芯片制造、封裝測試等環(huán)節(jié)持續(xù)擴張，對高精度、高性能半導(dǎo)體流量計的需求不斷增加。2024年，中國半導(dǎo)體流量計行業(yè)市場規(guī)模為12.3億元，同比增長9.82%。

四、重點企業(yè)經(jīng)營情況

當(dāng)前，中國半導(dǎo)體流量計行業(yè)呈現(xiàn)“龍頭企業(yè)引領(lǐng)、細分領(lǐng)域分化、國產(chǎn)替代加速”的競爭格局。以北京華丞電子、格里機電、芯笙微納為代表的企業(yè)占據(jù)技術(shù)制高點，在質(zhì)量流量控制器（MFC）領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)進口替代，如華丞產(chǎn)品精度達±0.5%FS，適配28nm及以上制程，氦氣回收率超92%，市場占有率突破30%。未來，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)能擴張與技術(shù)創(chuàng)新，行業(yè)將加速向“技術(shù)+服務(wù)”雙輪驅(qū)動轉(zhuǎn)型，龍頭企業(yè)通過垂直整合強化競爭優(yōu)勢，新興企業(yè)聚焦細分賽道實現(xiàn)差異化突圍，整體呈現(xiàn)“強者恒強、專精特新崛起”的競爭態(tài)勢。

陜西易度智能科技有限公司作為國內(nèi)首家通用型層流質(zhì)量流量計廠商，由西工大團隊創(chuàng)立，專注高精度層流壓差技術(shù)研發(fā)。其產(chǎn)品精度達±0.5%FS，適配sccm級微流量控制，流量控制范圍0.5SCCM-10000SLPM，通過3000萬次疲勞測試無衰退。公司擁有20余項創(chuàng)新專利，獲中國計量科學(xué)院CPA認(rèn)證，是全球第二家能生產(chǎn)通用型層流質(zhì)量流量計的企業(yè)。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、新能源等40+行業(yè)，服務(wù)5000+客戶，形成西安研發(fā)中心輻射全國的體系，研發(fā)團隊碩士占比超1/4，助力解決流體測控難題，填補國產(chǎn)高端流量計空白。

青島芯笙微納電子科技有限公司依托山東大學(xué)科研孵化，聚焦半導(dǎo)體工藝氣體精準(zhǔn)測控。其S300/S500系列MFC及DF500專用控制器采用熱式/層流壓差技術(shù)，精度±0.5%FS，毫秒級響應(yīng)，量程比100:1。產(chǎn)品通過SEMI標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，擁有35+國家專利，溫度補償技術(shù)使溫漂誤差控制在1%以內(nèi)，10L流量控制器波動僅±8sccm，優(yōu)于競品。服務(wù)1000+重點客戶，參與CSEAC等行業(yè)展會，提供全生命周期技術(shù)支持，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體沉積、蝕刻等工藝，推動國產(chǎn)設(shè)備進口替代，支撐產(chǎn)業(yè)鏈自主可控。

五、行業(yè)發(fā)展趨勢

1、行業(yè)技術(shù)不斷創(chuàng)新，驅(qū)動高精度與智能化升級

未來，中國半導(dǎo)體流量計行業(yè)將圍繞“高精度、智能化、微型化”三大技術(shù)方向突破。高精度方面，通過MEMS技術(shù)、硅基傳感器優(yōu)化，實現(xiàn)±0.1%FS甚至更高精度的流量控制，滿足先進制程（如3nm及以下）對氣體/液體流量的嚴(yán)苛要求。智能化方面，AI算法將深度融入流量預(yù)測與工藝優(yōu)化，例如通過機器學(xué)習(xí)分析歷史數(shù)據(jù)，動態(tài)調(diào)整流量參數(shù)，降低氣體消耗30%以上；數(shù)字孿生技術(shù)則可實現(xiàn)工藝全流程模擬，提前預(yù)警設(shè)備異常，提升良率。微型化方面，0.01sccm級超微流量控制技術(shù)將突破，適配納米級沉積、蝕刻工藝需求。此外，碳化硅等新型材料的應(yīng)用將提升設(shè)備耐腐蝕性，延長使用壽命，降低維護成本。

2、政策推動國產(chǎn)化替代，加速產(chǎn)業(yè)鏈自主可控

在政策驅(qū)動下，國產(chǎn)化替代將成為行業(yè)核心趨勢。政策支持促使國內(nèi)企業(yè)加大研發(fā)投入，提升產(chǎn)品性能和市場競爭力。未來，龍頭企業(yè)如北京華丞、青島芯笙將通過垂直整合，強化從傳感器、閥門到控制系統(tǒng)的全鏈條研發(fā)能力。例如，華丞已實現(xiàn)MFC產(chǎn)品精度達±0.5%FS，氦氣回收率超92%，有效替代進口產(chǎn)品；芯笙則通過熱式/層流壓差技術(shù)，實現(xiàn)毫秒級響應(yīng)，適配CVD/PVD工藝。隨著“十四五”規(guī)劃對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的持續(xù)推進，行業(yè)將形成“技術(shù)+服務(wù)”雙輪驅(qū)動的競爭格局。

3、隨著環(huán)保政策嚴(yán)控下，綠色制造與循環(huán)經(jīng)濟成新增長點

隨著全球ESG要求趨嚴(yán)，綠色制造將成為半導(dǎo)體流量計行業(yè)的新增長點。一方面，企業(yè)將通過優(yōu)化設(shè)計降低能耗，例如采用低功耗傳感器、節(jié)能型閥門，減少設(shè)備運行成本；另一方面，循環(huán)經(jīng)濟模式將推廣，如氦氣回收率從92%提升至95%以上，減少稀有氣體消耗。此外，模塊化設(shè)計將支持設(shè)備快速升級與再制造，延長產(chǎn)品生命周期。例如，陜西易度通過層流壓差技術(shù)，實現(xiàn)sccm級微流量控制，同時通過3000萬次疲勞測試驗證設(shè)備可靠性，降低客戶更換頻率。政策端，《國家計量行動方案》將持續(xù)推動高精度傳感器研發(fā)，支持企業(yè)突破“雙碳”目標(biāo)下的綠色制造技術(shù)，形成“需求擴張-技術(shù)升級-成本優(yōu)化”的良性循環(huán)，支撐半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)可持續(xù)發(fā)展。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（www.thewallstreetmoneymachine.com）發(fā)布的《中國半導(dǎo)體流量計行業(yè)市場動態(tài)分析及投資趨勢研判報告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報告、商業(yè)計劃書、可行性研究報告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業(yè)動態(tài)。