2025年中國半導體廢氣處理設備?行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈圖譜、運行現(xiàn)狀、重點企業(yè)及未來發(fā)展趨勢研判：國產(chǎn)替代與智能化轉型加速，行業(yè)市場規(guī)模有望突破25億元[圖]

內容概要：半導體廢氣處理設備是晶圓制造、封裝測試等環(huán)節(jié)的關鍵環(huán)保裝備，通過物理、化學或生物方法將生產(chǎn)中的有害物質轉化為無害物，確保排放合規(guī)。其設備類型多樣，涵蓋活性炭吸附、催化氧化、熱氧化、生物濾池、冷凝吸收及洗滌塔等，可針對性處理各類廢氣。作為保障產(chǎn)業(yè)綠色制造的核心環(huán)節(jié)，該行業(yè)近年來獲國家政策密集支持，形成從宏觀指導到精準施策的完整框架，為其提供清晰升級路徑與廣闊市場空間。依托龐大的市場需求、完整的產(chǎn)業(yè)鏈基礎及有力的產(chǎn)業(yè)政策，中國半導體產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)跨越式發(fā)展，2024年市場規(guī)模達13028億元，推動廢氣處理設備等上游配套市場擴張。當前，中國半導體廢氣處理設備市場潛力強勁，正從單一設備銷售向“技術+服務”轉型，第三方治理模式滲透率提升。未來，在自主化戰(zhàn)略與環(huán)保政策推動下，行業(yè)將保持增長態(tài)勢，前沿技術如等離子體協(xié)同催化、AI智能運維等也將推動行業(yè)升級。同時，智能制造與低碳發(fā)展理念正推動設備升級，實現(xiàn)生態(tài)與產(chǎn)業(yè)價值協(xié)同增長。

上市企業(yè)：京儀裝備（688652.SH）、盛劍科技（603324.SH）、仕凈科技（301030.SZ）

相關企業(yè)：江蘇維爾利環(huán)?？萍加邢薰?、格林斯達（北京）環(huán)保科技股份有限公司、天和（上海）半導體制程排氣工業(yè)有限公司、江蘇芯隆半導體有限公司、深圳大宇工業(yè)設備有限公司、愛德華真空設備股份有限公司

關鍵詞：半導體廢氣處理設備?、半導體廢氣處理設備政策、半導體廢氣處理設備?行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈、半導體廢氣處理設備?發(fā)展現(xiàn)狀、半導體廢氣處理設備細分市場、半導體廢氣處理設備?發(fā)展趨勢

一、半導體廢氣處理設備?行業(yè)相關概述

半導體廢氣處理設備是專為晶圓制造、封裝測試等環(huán)節(jié)設計的環(huán)保裝備，其核心功能是通過物理、化學或生物方法，將生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的揮發(fā)性有機物（VOCs）、酸性氣體（如HF、Cl?）、金屬顆粒物等有害物質轉化為無害物質，確保排放符合環(huán)保法規(guī)。

半導體廢氣處理設備根據(jù)處理原理與適用廢氣類型可分為多類，包括利用活性炭吸附性能處理低濃度酸、堿、醛、酮等有機物廢氣的活性炭吸附設備，借助催化劑將苯、丙烯等高濃度有機物轉化為無害物質的催化氧化設備，通過高溫將VOCs、苯等有機物氧化為二氧化碳和水的熱氧化設備，利用微生物代謝作用處理硫化氫、甲硫醇等有機硫化物的生物濾池設備，通過冷凝與吸收分離酸、堿、氨等有害氣體的冷凝吸收設備，以及通過噴淋洗滌液中和或吸收多種有害氣體的洗滌塔設備。

半導體廢氣處理系統(tǒng)按廢氣類型主要分為四類：酸性/堿性廢氣通常來自清洗工序，采用濕式洗滌塔進行中和處理；有機溶劑廢氣（VOCs）則多使用吸附或燃燒技術，效率可達90%以上；毒性廢氣源于CVD、蝕刻等核心制程，需先經(jīng)設備自身預處理，再送至中央系統(tǒng)深度凈化；而一般排氣因不含危害物質可直接排放。相比之下，毒性廢氣處理流程最復雜、成本最高，有機廢氣處理強調銷毀效率，酸堿廢氣處理則更注重化學中和的穩(wěn)定性。

二、中國半導體廢氣處理設備行業(yè)政策

半導體廢氣處理設備是保障產(chǎn)業(yè)綠色制造的關鍵環(huán)節(jié)。近年來，國家層面加強頂層設計，密集出臺了一系列綱領性文件：以《環(huán)保裝備制造業(yè)高質量發(fā)展行動計劃（2022—2025年）》明確產(chǎn)業(yè)升級方向；以《空氣質量持續(xù)改善行動計劃》等劃定精準治污的戰(zhàn)場；更以《深入打好重污染天氣消除、臭氧污染防治和柴油貨車污染治理攻堅戰(zhàn)行動方案》鎖定重點治理領域。這些政策共同構成了一個從宏觀指導到精準施策的完整框架，為半導體廢氣處理設備行業(yè)提供了清晰的升級路徑與廣闊的市場空間。

三、中國半導體廢氣處理設備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈

中國半導體廢氣處理設備產(chǎn)業(yè)鏈上游聚焦高精度零部件與子系統(tǒng)供應，涵蓋軸承、傳感器、真空泵、射頻電源等關鍵部件，技術壁壘高且部分依賴進口，但國內企業(yè)在中低端領域已實現(xiàn)突破，高端產(chǎn)品國產(chǎn)化率提升空間顯著；中游為設備制造與系統(tǒng)集成，核心企業(yè)包括盛劍環(huán)境、京儀裝備等，通過吸附、催化燃燒、等離子體等技術實現(xiàn)廢氣高效處理，設備類型覆蓋工藝排氣管道、中央治理設備等，國產(chǎn)替代加速推進；下游應用于半導體制造全流程，包括晶圓加工、封裝測試等環(huán)節(jié)及光伏等泛半導體領域。隨著國內12英寸晶圓廠擴產(chǎn)及環(huán)保法規(guī)趨嚴，半導體廢氣處理設備需求持續(xù)增長。

半導體廢氣處理設備是半導體制造工藝中不可或缺的環(huán)保設施，承擔著處理酸性、堿性、有機及毒性等各類有害廢氣的重要任務，在保障人員健康、維護環(huán)境安全方面發(fā)揮著關鍵作用。作為持續(xù)支撐中國科技創(chuàng)新的戰(zhàn)略支柱領域，近年來，中國半導體產(chǎn)業(yè)依托龐大的市場需求、完整的產(chǎn)業(yè)鏈基礎、穩(wěn)定的經(jīng)濟增長以及有力的產(chǎn)業(yè)政策支持，實現(xiàn)了跨越式發(fā)展。據(jù)中國半導體行業(yè)協(xié)會（CSIA）統(tǒng)計，2024年中國半導體市場規(guī)模已達13028億元，較2020年的8848億元增長47.2%，年復合增長率（CAGR）達10.5%，顯著高于全球同期5.2%的增速。未來，隨著5G通信、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)和自動駕駛等前沿技術的不斷突破，半導體產(chǎn)業(yè)需求將持續(xù)攀升，這也將直接推動包括廢氣處理設備在內的上游配套市場迎來新一輪擴張。

相關報告：智研咨詢發(fā)布的《中國半導體廢氣處理設備行業(yè)市場運行格局及投資機會研判報告》

四、全球及中國半導體廢氣處理設備?行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀分析

半導體廢氣處理設備主要應用于刻蝕、薄膜沉積及外延等核心制程環(huán)節(jié)，其中刻蝕與薄膜沉積兩大環(huán)節(jié)的設備需求最為突出，合計占比約70%。這類設備的核心功能在于及時處理制造過程中產(chǎn)生的各類危險廢氣，包括具有強腐蝕性的氣體（如HBr、Cl?）以及強溫室效應氣體（如CF?）等，通過與工藝設備直接連接的排氣系統(tǒng)，有效降低晶圓制造產(chǎn)線的運行風險，確保生產(chǎn)環(huán)境的安全與穩(wěn)定。近年來，在全球半導體產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展與環(huán)保政策持續(xù)收緊的雙重驅動下，半導體廢氣處理設備市場保持穩(wěn)健增長。數(shù)據(jù)顯示，2024年全球半導體廢氣處理洗滌器市場規(guī)模約13.8億美元，預計2025年將增長至14.6億美元。

中國作為全球半導體制造鏈中的重要一環(huán)，2024年國內半導體廢氣處理設備市場規(guī)模約為24.26億元，展現(xiàn)出強勁的市場潛力。當前，行業(yè)正經(jīng)歷從單一設備銷售向“技術+服務”綜合解決方案的轉型，第三方治理模式的滲透率持續(xù)提升。未來，在半導體產(chǎn)業(yè)自主化戰(zhàn)略與“超低排放”等環(huán)保政策的共同推動下，中國市場預計將保持增長態(tài)勢，到2025年行業(yè)市場規(guī)模有望突破25億元。與此同時，等離子體協(xié)同催化、AI智能運維等前沿技術也有望成為推動行業(yè)技術升級與模式創(chuàng)新的重要方向。

五、中國半導體廢氣處理設備行業(yè)競爭格局

中國半導體廢氣處理設備行業(yè)已形成國際巨頭與本土領先企業(yè)差異化競爭的格局，其中愛德華茲真空（Edwards Vacuum）、荏原（Ebara）及GST等跨國企業(yè)憑借深厚技術積累主導高端市場；與此同時，以盛劍環(huán)境、京儀裝備、仕凈科技為代表的本土企業(yè)依托成本優(yōu)勢、快速響應能力及持續(xù)技術創(chuàng)新，在中端市場穩(wěn)步拓展并逐步向高端領域滲透，推動國產(chǎn)替代進程加速。當前，行業(yè)競爭焦點正從單一設備價格轉向以等離子體協(xié)同催化、AI智能運維為代表的技術突破，以及從“設備供應商”向“技術+服務”綜合解決方案的商業(yè)模式轉型，未來本土企業(yè)有望借力半導體產(chǎn)業(yè)自主化戰(zhàn)略與環(huán)保政策持續(xù)深化，進一步開拓全球市場。

京儀裝備（688652）作為中國半導體工藝廢氣處理設備領域的領軍企業(yè)，依托其半導體專用工藝廢氣處理設備（Local Scrubber,L/S）與半導體專用溫控設備（Chiller）構成的雙核心業(yè)務，已成為推動該領域設備國產(chǎn)化替代的關鍵力量。2024年，公司半導體專用工藝廢氣處理設備銷量達696臺，同比大幅增長74.4%；為適應市場競爭及促進技術普及，設備均價調整至46.5萬元/臺，同比下降14.2%，進一步加速了行業(yè)進口替代進程。

在京儀裝備進入該領域之前，中國半導體專用工藝廢氣處理設備市場長期由愛德華（Edwards）、戴思（DAS）等國際廠商主導，國內廠商市場份額極低。通過持續(xù)的技術攻關，公司已形成以低溫等離子廢氣處理技術、新型材料防腐及密封技術、系統(tǒng)設計算法、純氧燃燒技術及Harsh工藝除塵技術為核心的五大技術體系，并成功研發(fā)出燃燒水洗式、等離子水洗式及電熱水洗式三種處理工藝。其產(chǎn)品覆蓋單腔與雙腔結構，廢氣處理量范圍達400-1600標準升每分鐘（slm），對多種特征污染物的處理效率超過99%。目前，京儀裝備產(chǎn)品的關鍵性能參數(shù)，如廢氣處理效率和處理量等，已達到國內領先、國際先進水平。

六、中國半導體廢氣處理設備?行業(yè)發(fā)展趨勢分析

智能制造與低碳發(fā)展理念深度融入行業(yè)發(fā)展，推動設備從“功能型”向“智能型”“低碳型”升級。借助物聯(lián)網(wǎng)與AI算法，設備實現(xiàn)廢氣成分實時監(jiān)測、處理參數(shù)動態(tài)調控及故障預警，提升運行效率與穩(wěn)定性，滿足半導體工廠的智能化管理需求。同時，碳捕捉與資源化回收技術的研發(fā)應用成為新方向，部分設備已實現(xiàn)對特定廢氣中有用組分的回收利用，兼顧環(huán)保效益與經(jīng)濟效益。政策層面的綠色補貼與環(huán)保標準升級，進一步倒逼企業(yè)加大智能化改造與低碳技術投入，推動行業(yè)從污染治理向綠色制造全鏈條延伸，實現(xiàn)生態(tài)價值與產(chǎn)業(yè)價值的協(xié)同增長。具體發(fā)展趨勢如下：

1、技術迭代：多技術融合與高效化路徑凸顯

隨著半導體制造向先進制程邁進，廢氣成分愈發(fā)復雜且毒性增強，傳統(tǒng)單一處理技術已難以滿足凈化需求，推動行業(yè)向多技術融合方向發(fā)展。等離子體技術憑借高效凈化優(yōu)勢在晶圓加工等核心環(huán)節(jié)廣泛應用，膜分離技術則以低能耗特性持續(xù)擴大市場滲透，光催化氧化技術在特定工藝段的VOCs治理中展現(xiàn)潛力。同時，針對不同制程廢氣的定制化解決方案成為研發(fā)重點，通過整合吸附、催化、燃燒等多原理模塊，實現(xiàn)對多組分廢氣的精準高效處理，技術創(chuàng)新從單一設備升級轉向系統(tǒng)級解決方案優(yōu)化。

2、競爭重構：本土企業(yè)加速高端替代與格局集中

政策端環(huán)保法規(guī)趨嚴與半導體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化浪潮形成雙重驅動，本土企業(yè)在核心技術與市場布局上持續(xù)突破。以盛劍環(huán)境、京儀裝備為代表的頭部企業(yè)，通過深耕12英寸晶圓廠等高端場景，實現(xiàn)Local Scrubber等設備的規(guī)模裝機，打破國際廠商壟斷。本土企業(yè)憑借貼近下游客戶的快速響應能力、供應鏈成本優(yōu)勢及產(chǎn)學研協(xié)同的技術轉化效率，逐步縮小與國際品牌的差距。行業(yè)競爭從價格比拼轉向技術實力與服務能力的綜合較量，具備核心專利、高端客戶資源及系統(tǒng)集成能力的企業(yè)將占據(jù)更多市場份額，推動行業(yè)集中度進一步提升。

3、價值升級：智能化與綠色化驅動產(chǎn)業(yè)高質量發(fā)展

智能制造與低碳發(fā)展理念深度融入行業(yè)發(fā)展，推動設備從“功能型”向“智能型”“低碳型”升級。借助物聯(lián)網(wǎng)與AI算法，設備實現(xiàn)廢氣成分實時監(jiān)測、處理參數(shù)動態(tài)調控及故障預警，提升運行效率與穩(wěn)定性，滿足半導體工廠的智能化管理需求。同時，碳捕捉與資源化回收技術的研發(fā)應用成為新方向，部分設備已實現(xiàn)對特定廢氣中有用組分的回收利用，兼顧環(huán)保效益與經(jīng)濟效益。政策層面的綠色補貼與環(huán)保標準升級，進一步倒逼企業(yè)加大智能化改造與低碳技術投入，推動行業(yè)從污染治理向綠色制造全鏈條延伸，實現(xiàn)生態(tài)價值與產(chǎn)業(yè)價值的協(xié)同增長。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（www.thewallstreetmoneymachine.com）發(fā)布的《中國半導體廢氣處理設備行業(yè)市場運行格局及投資機會研判報告》。智研咨詢是中國領先產(chǎn)業(yè)咨詢機構，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報告、商業(yè)計劃書、可行性研究報告及定制服務等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務。您可以關注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業(yè)動態(tài)。