研判2025！全球及中國前道量檢測設備發(fā)展背景、市場規(guī)模、企業(yè)格局及未來趨勢分析：市場規(guī)模穩(wěn)步擴張，行業(yè)格局高度集中，國產化程度較低[圖]

內容概要：前道量檢測設備作為半導體設備市場的重要組成，其市場規(guī)模在半導體設備中僅次于薄膜沉積設備、光刻機、刻蝕設備。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，前道量檢測設備約占半導體設備市場規(guī)模的13%。半導體質量控制貫穿集成電路制造的關鍵環(huán)節(jié)，對芯片生產的良品率的影響至關重要。數(shù)據(jù)顯示，2024年全球半導體檢測和量測設備市場規(guī)模達到152.2億美元，同比增長18.7%。隨著制程越來越先進、工藝環(huán)節(jié)不斷增加，行業(yè)發(fā)展對工藝控制水平提出了更高的要求，制造過程中檢測設備與量測設備的技術要求及需求量持續(xù)提升。近年來，得益于中國半導體全行業(yè)的蓬勃發(fā)展和國家近年來對半導體產業(yè)持續(xù)的政策扶持，行業(yè)下游晶圓廠在關鍵工藝節(jié)點上持續(xù)推進，多家國內領先的半導體制造企業(yè)進入產能擴張期，中國大陸半導體檢測與量測設備的市場處于高速發(fā)展期。2020-2024年期間，中國大陸半導體檢測與量測設備市場規(guī)模的年均復合增長率達30%，2024年市場規(guī)模達438億元。前道量檢測設備廣泛應用于晶圓制造中多個工藝環(huán)節(jié)，具有技術壁壘高、制造難度大等特點，需要企業(yè)長時間的投入及技術積淀，供應市場呈現(xiàn)高度集中的格局。目前，全球前道量檢測設備供應市場由KLA、AMAT、Hitachi等少數(shù)國際龍頭企業(yè)主導，2024年前五家企業(yè)占據(jù)了全球超80%的市場份額，其中KLA市占率超50%，市場呈現(xiàn)“一超多強”格局。由于國內半導體產業(yè)起步相對較晚，前道量檢測設備的國產化率較低。但近年來，隨著我國半導體產業(yè)的快速發(fā)展，下游對前道量檢測設備需求快速增長，涌現(xiàn)了中科飛測、上海精測、睿勵儀器、卓?？萍嫉染邆淝暗懒繖z測設備供應能力的企業(yè)。未來，隨著國內企業(yè)對前道量檢測設備技術原理、制造工藝等方面的進一步理解，設備的商業(yè)化進程將不斷推進，國內品牌市場占有率有望得到進一步提升。

上市企業(yè)：中科飛測(688361)、天準科技(688003)、賽騰股份(603283)、精測電子(300567)、華興源創(chuàng)(688001)等

相關企業(yè)：睿勵科學儀器(上海)有限公司、寧波舜宇儀器有限公司、上海精測半導體技術有限公司、深圳市新凱來技術有限公司、無錫卓?？萍脊煞萦邢薰?、上海御微半導體技術有限公司、東方晶源微電子科技(北京)股份有限公司、上海優(yōu)睿譜半導體設備有限公司、南京中安半導體設備有限責任公司、奈米科學儀器裝備(杭州)有限公司、高視科技(蘇州)股份有限公司、匠嶺科技（上海）有限公司、深圳市格靈精睿視覺有限公司、無錫光則科技有限公司

關鍵詞：前道量檢測設備發(fā)展背景、前道量檢測設備市場規(guī)模、前道量檢測設備企業(yè)格局、前道量檢測設備發(fā)展趨勢

一、前道量檢測設備行業(yè)相關概述

前道量檢測是半導體制造重要的質量檢查工藝，涉及膜厚、折射率、膜應力等參數(shù)測量，以及各類表面缺陷檢測等，對硅片廠/晶圓廠保障產品良率、產品一致性、降低成本等至關重要。前道量檢測設備作為貫穿光刻、刻蝕等晶圓制造全過程的質量控制設備，根據(jù)功能用途的不同，可分為測量設備和檢測設備。其中，測量設備主要用于量化描述晶圓的結構尺寸和材料性質，測量薄膜厚度、關鍵尺寸、刻蝕深度、表面形貌等物理學參數(shù)，以確保其符合設計要求；檢測設備主要用于識別并定位晶圓表面或電路結構中存在的雜質顆粒沾污、機械劃傷、晶圓圖案缺陷等問題。

在摩爾定律的推動下，元器件集成度的大幅提高要求晶圓制造不斷向更小制 程的工藝方向發(fā)展，工藝步驟和復雜程度大幅增加，工藝中產生缺陷的概率也會 大幅上升，需要通過各類型的前道量檢測設備實現(xiàn)質量控制，保證每一道工序幾 乎零缺陷時，才能最終實現(xiàn)較高的產品良品率。因此，前道量檢測設備是晶圓制 造產線中不可或缺的核心設備之一。

相關報告：智研咨詢發(fā)布的《中國前道量檢測設備行業(yè)市場全景分析及產業(yè)前景研判報告》

二、半導體設備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

半導體是支撐現(xiàn)代經濟社會發(fā)展的戰(zhàn)略性、基礎性和先導性產業(yè)。半導體行業(yè)的發(fā)展水平和國家科技水平息息相關，其發(fā)展情況已成為全球各國經濟、社會發(fā)展的風向標，是衡量一個國家或地區(qū)現(xiàn)代化程度和綜合實力的重要標志。隨著現(xiàn)代工業(yè)不斷發(fā)展，半導體行業(yè)整體景氣度持續(xù)提升，全球半導體設備市場呈現(xiàn)快速增長態(tài)勢，2024年，全球半導體設備市場增長了10%，從2023年的略微下降中反彈，達到了1170億美元的年度銷售額歷史新高。其中中國、韓國、中國臺灣三地銷售額分別占比42.3%、17.5%、14.1%。2025年上半年全球銷售額達651.2億美元，同比增長22.3%。

在經歷了美國至日本，日本至韓國和中國臺灣的兩次產業(yè)轉移后，目前全球半導體產業(yè)正向中國大陸加速轉移，中國成為全球最大的半導體生產和消費國。2010年以來，中國逐步承接了半導體封測和晶圓制造業(yè)務并建立起初具規(guī)模的半導體設計行業(yè)生態(tài)，完成了半導體產業(yè)的原始積累，初步完成產業(yè)鏈布局。中國大陸正在成為全球半導體產能第三次擴張的重要目的地。大陸晶圓代工廠中芯國際、華虹集團，中國臺灣晶圓代工廠臺積電、聯(lián)電、晶合等晶圓廠接連在大陸擴產、建廠，帶動半導體設備銷售額快速增長，2021年銷售額實現(xiàn)58%的增幅。2022年在疫情、下游需求減弱等因素影響下，我國半導體設備銷售額出現(xiàn)較大幅度下滑，2023年恢復增長態(tài)勢。2024年中國市場半導體設備實現(xiàn)銷售額495.5億美元，同比增長35%。2025年上半年銷售額為216.2億美元，同比下滑13%。

三、前道量檢測設備行業(yè)市場現(xiàn)狀

1、市場規(guī)模

前道量檢測設備作為半導體設備市場的重要組成，其市場規(guī)模在半導體設備中僅次于薄膜沉積設備、光刻機、刻蝕設備。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，前道量檢測設備約占半導體設備市場規(guī)模的13%。

半導體質量控制貫穿集成電路制造的關鍵環(huán)節(jié)，對芯片生產的良品率的影響至關重要。數(shù)據(jù)顯示，2024年全球半導體檢測和量測設備市場規(guī)模達到152.2億美元，同比增長18.7%。隨著制程越來越先進、工藝環(huán)節(jié)不斷增加，行業(yè)發(fā)展對工藝控制水平提出了更高的要求，制造過程中檢測設備與量測設備的技術要求及需求量持續(xù)提升。

從技術原理上看，檢測和量測包括光學檢測技術、電子束檢測技術和X光量測技術等。目前，在所有半導體檢測和量測設備中，應用光學檢測技術的設備占多數(shù)。據(jù)統(tǒng)計，2024年全球半導體前道量檢測設備市場中，光學技術占比超80%。其次為電子束技術，占比約為14%。

近年來，得益于中國半導體全行業(yè)的蓬勃發(fā)展和國家近年來對半導體產業(yè)持續(xù)的政策扶持，行業(yè)下游晶圓廠在關鍵工藝節(jié)點上持續(xù)推進，多家國內領先的半導體制造企業(yè)進入產能擴張期，中國大陸半導體檢測與量測設備的市場處于高速發(fā)展期。2020-2024年期間，中國大陸半導體檢測與量測設備市場規(guī)模的年均復合增長率達30%，2024年市場規(guī)模達438億元。

2、企業(yè)格局

前道量檢測設備為高精密設備，需完成納米級別的測量、檢測工作，主要由傳輸單元、光路處理單元、信號單元、量檢測單元等系統(tǒng)組成，包含成千上萬個具體模塊，涉及高真空腔傳輸技術、光譜檢測技術、快速運算技術、高精度信號檢測技術等，是光學、電學、機械學、算法、運動控制等多學科的技術結晶。前道量檢測設備廣泛應用于晶圓制造中多個工藝環(huán)節(jié)，具有技術壁壘高、制造難度大等特點，需要企業(yè)長時間的投入及技術積淀，供應市場呈現(xiàn)高度集中的格局。目前，全球前道量檢測設備供應市場由KLA、AMAT、Hitachi等少數(shù)國際龍頭企業(yè)主導，2024年前五家企業(yè)占據(jù)了全球超80%的市場份額，其中KLA市占率超50%，市場呈現(xiàn)“一超多強”格局。由于國內半導體產業(yè)起步相對較晚，前道量檢測設備的國產化率較低。但近年來，隨著我國半導體產業(yè)的快速發(fā)展，下游對前道量檢測設備需求快速增長，涌現(xiàn)了中科飛測、上海精測、睿勵儀器、卓?？萍嫉染邆淝暗懒繖z測設備供應能力的企業(yè)。在國家政策支持下，我國半導體產業(yè)進入積極擴產的戰(zhàn)略窗口期，前道量檢測設備、關鍵配件的自主研發(fā)和國產化是行業(yè)重要發(fā)展方向，對于國內企業(yè)來說是歷史性的機遇。

四、前道量檢測設備行業(yè)發(fā)展趨勢

1、國內品牌市場占有率有望得到提升

前道量檢測設備市場需求旺盛但產業(yè)發(fā)展水平較低，行業(yè)被少數(shù)國際龍頭企業(yè)所占據(jù)，不管是先進制程還是成熟制程市場，國內企業(yè)的市場份額均相對較少。但是，隨著國家對前道量檢測設備行業(yè)的政策扶持，以及國內相關企業(yè)的不斷積累，未來前道量檢測設備行業(yè)的發(fā)展路徑將更加明晰。隨著國內企業(yè)對前道量檢測設備技術原理、制造工藝等方面的進一步理解，設備的商業(yè)化進程將不斷推進，國內品牌市場占有率有望得到進一步提升。

2、檢測和量測設備各項性能進一步優(yōu)化

隨著工藝不斷進步，產品制程步驟越來越多，微觀結構逐漸復雜，生產成本呈指數(shù)級提升。為了獲取盡量高的晶圓良品率，必須嚴格控制晶圓之間、同一晶圓上的工藝一致性，因此對集成電路生產過程中的質量控制需求將越來越大。未來檢測和量測設備需在靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量等指標上進一步提升，保證每道工藝均落在容許的工藝窗口內，保證整條生產線平穩(wěn)連續(xù)的運行。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（www.thewallstreetmoneymachine.com）發(fā)布的《中國前道量檢測設備行業(yè)市場全景分析及產業(yè)前景研判報告》。智研咨詢是中國領先產業(yè)咨詢機構，提供深度產業(yè)研究報告、商業(yè)計劃書、可行性研究報告及定制服務等一站式產業(yè)咨詢服務。您可以關注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業(yè)動態(tài)。