氮化鎵單晶襯底是通過(guò)同質(zhì)外延生長(zhǎng)技術(shù)制備的獨(dú)立氮化鎵晶體材料,無(wú)需依賴藍(lán)寶石、碳化硅等異質(zhì)襯底支撐。其核心特性在于低缺陷密度、高熱導(dǎo)率和高擊穿電壓,是第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料的典型代表。作為外延GaN的理想基底,其晶格匹配度接近100%,可顯著提升器件性能,尤其適用于高壓、高頻、大功率場(chǎng)景。