等離子體射頻電源系統(tǒng)

2025年中國(guó)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)壁壘、市場(chǎng)政策、產(chǎn)業(yè)鏈圖譜、市場(chǎng)規(guī)模、競(jìng)爭(zhēng)格局及發(fā)展趨勢(shì)研判：MKS、AE等國(guó)際巨頭占據(jù)主導(dǎo)地位圖]

等離子體射頻電源系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造中極其關(guān)鍵的專(zhuān)用電源系統(tǒng)，主要由等離子體射頻電源和匹配器組成。等離子體射頻電源是可以產(chǎn)生正弦波電壓，工作頻率范圍一般處于3KHz至300GHz之間，具有一定功率的工藝電源。