摘要：全球范圍內(nèi)，由于日本、美國等發(fā)達國家在靶材領域起步較早，產(chǎn)業(yè)鏈較為完整，具備規(guī)?；a(chǎn)能力，因此在靶材行業(yè)中占據(jù)了較大的市場份額。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)顯示，預計全球濺射靶材市場規(guī)模將從2022年的57.9億美元增長至2025年的69.8億美元，復合增長率為6.4%；中國濺射靶材市場規(guī)模將從2022年的12.2億美元增長至2025年的20.3億美元，復合增長率為18.0%。近年來，中國政府大力支持多項科技創(chuàng)新計劃和產(chǎn)業(yè)升級政策，推動了國內(nèi)靶材行業(yè)的發(fā)展。隨著中國靶材企業(yè)持續(xù)擴大生產(chǎn)規(guī)模、提高產(chǎn)品質(zhì)量和技術水平，其在全球靶材市場中的地位不斷提升。

一、定義及分類

濺射靶材是PVD（物理氣相沉積）領域內(nèi)應用量最大的鍍膜材料。濺射是制備薄膜材料的主要技術之一，它利用荷能粒子（通常是離子），在真空中經(jīng)過加速聚集，而形成高速度能的粒子束流，轟擊固體表面，粒子和固體表面原子發(fā)生動能交換，使固體表面的原子離開固體并沉積在基板表面，被轟擊的固體即為濺射靶材。濺射靶材按化學成分分為金屬靶材、合金靶材、陶瓷靶材等。

二、行業(yè)政策

1、主管部門和監(jiān)管體制

濺射靶材行業(yè)的主管部門為中華人民共和國工業(yè)和信息化部，自律組織為中國電子材料行業(yè)協(xié)會和中國光學光電子行業(yè)協(xié)會。

工信部主要職責為擬訂實施行業(yè)規(guī)劃、產(chǎn)業(yè)政策和標準；制定并組織實施工業(yè)、通信業(yè)的行業(yè)規(guī)劃、計劃和產(chǎn)業(yè)政策，提出優(yōu)化產(chǎn)業(yè)布局、結(jié)構(gòu)的政策建議，起草相關法律法規(guī)草案，制定規(guī)章，擬訂行業(yè)技術規(guī)范和標準并組織實施，指導行業(yè)質(zhì)量管理工作；擬訂高技術產(chǎn)業(yè)中涉及新材料等的規(guī)劃、政策和標準并組織實施，指導行業(yè)技術創(chuàng)新和技術進步；組織實施有關國家科技重大專項，推進相關科研成果產(chǎn)業(yè)化，推動軟件業(yè)、信息服務業(yè)和新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

中國電子材料行業(yè)協(xié)會是由從事電子材料行業(yè)相關的企事業(yè)單位和社會組織自愿結(jié)成的全國性、行業(yè)性社會團體。協(xié)會主要職責為進行電子材料相關行業(yè)調(diào)查，向政府提出行業(yè)發(fā)展規(guī)劃的建議；協(xié)助政府部門推動本行業(yè)的質(zhì)量管理和監(jiān)督，推動標準的貫徹執(zhí)行和產(chǎn)品質(zhì)量的提高；幫助企業(yè)開拓市場，積極開展國內(nèi)外經(jīng)濟技術合作與交流活動；圍繞規(guī)范市場秩序，加強行業(yè)自律工作；經(jīng)政府有關部門批準，組織新產(chǎn)品鑒定、科研成果評審等。

中國光學光電子行業(yè)協(xié)會是全國從事光學光電子科研、生產(chǎn)和教學的企、事業(yè)單位自愿組合的，民政部批準法人資格的社會團體。協(xié)會主要職責為開展光學光電子行業(yè)市場調(diào)查，向政府提出行業(yè)發(fā)展規(guī)劃的建議；進行市場預測，向政府和會員單位提供信息；組織會員單位開拓國際國內(nèi)市場，組織國際交流，開展國際合作，推動光學電子行業(yè)發(fā)展與進步等。協(xié)會按專業(yè)領域下設七個分會：液晶分會、發(fā)光二極管顯示應用分會、光電器件分會、光學元件與儀器分會、激光分會、紅外分會、激光應用分會。

2、行業(yè)相關政策

濺射靶材是用于制備薄膜材料的重要材料，廣泛應用于電子、光電、磁性等領域。中國政府一直高度重視濺射靶材的研發(fā)和生產(chǎn)，并采取了一系列措施來促進其發(fā)展。2023年8月，工信部等七部門印發(fā)《有色金屬行業(yè)穩(wěn)增長工作方案》，提出針對銅、鋁、鎳、鋰、鉑族金屬等緊缺戰(zhàn)略性礦產(chǎn)，加大國內(nèi)勘查開發(fā)力度。培育銅、鋰、鎳、鎢、銻等重要有色金屬產(chǎn)業(yè)鏈“鏈主”企業(yè)，從資源配置、品牌價值、創(chuàng)新能力、國際化程度等方面與世界一流企業(yè)對標對表，提升企業(yè)綜合競爭力。圍繞集成電路材料等戰(zhàn)略方向，培育一批專精特新“小巨人”企業(yè)、單項冠軍企業(yè)。通過這些措施，中國政府旨在加強濺射靶材及原材料的自主研發(fā)能力和市場競爭力，以滿足國內(nèi)外需求，并推動中國在相關領域的發(fā)展。

三、發(fā)展歷程

中國濺射靶材行業(yè)起步相對較晚，長期以來一直依賴進口。然而，在國家相關政策的支持下，中國的濺射靶材產(chǎn)業(yè)得到了快速發(fā)展，并且國產(chǎn)化速度也在加快。在20世紀80年代初，我國開始引入濺射鍍膜技術，應用于相關玻璃制品中。20世紀90年代，我國開始研究濺射靶材的國產(chǎn)化技術。在21世紀初，我國濺射靶材產(chǎn)業(yè)進入快速發(fā)展階段，行業(yè)內(nèi)優(yōu)秀企業(yè)增多。在2005年，第一塊國產(chǎn)半導體工業(yè)應用濺射靶材在江豐電子的生產(chǎn)線上誕生，填補了國內(nèi)濺射靶材工藝的空白。由于我國濺射靶材長期依賴進口，國家出臺相應政策支持濺射靶材國產(chǎn)化。在2020年，我國工程院院士材料學專家何季麟帶領團隊成功研制出高性能ITO濺射靶材，實現(xiàn)了高端ITO靶材從0到1的突破。同年重慶大學劉慶教授團隊研制超高純金屬靶材項目，讓我國芯片擁有高端靶材。核心技術的突破加快我國濺射靶材行業(yè)發(fā)展，促進我國成為全球濺射靶材市場的重要力量。

四、行業(yè)壁壘

1、技術壁壘

中國濺射靶材行業(yè)在技術方面存在一定的壁壘。首先，濺射工藝本身屬于高精密度的薄膜制備技術，對設備、工藝流程和操作要求非常高。要掌握濺射靶材的制備技術，需要具備相應的專業(yè)知識和經(jīng)驗。其次，濺射靶材涉及多種材料和合金，對材料的純度、均勻性和晶格結(jié)構(gòu)等都有嚴格要求。這要求企業(yè)具備完善的材料研發(fā)和生產(chǎn)能力，以保證產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

2、客戶認證壁壘

高純?yōu)R射靶材技術含量高，對于終端產(chǎn)品的品質(zhì)和穩(wěn)定性具有直接影響，因此客戶在選擇供應商時會進行嚴格的認證過程。下游客戶對濺射靶材供應商的認證過程主要包括供應商初評、產(chǎn)品報價、樣品檢測、小批量試用、穩(wěn)定性檢測、批量生產(chǎn)等階段，過程較為苛刻。新進入者需要在技術水平、產(chǎn)品質(zhì)量、后續(xù)服務和供應價格等方面明顯優(yōu)于原有供應商，才有可能獲得業(yè)務合作機會。這種認證過程通常需要較長的時間，涉及多個環(huán)節(jié)，但也是客戶保證終端產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定性的重要手段。

3、人才壁壘

高純?yōu)R射靶材的研發(fā)和制造是一個需要大量高層次技術人才參與的復雜過程。這些技術人才需要具備深厚的專業(yè)背景和豐富的實踐經(jīng)驗，以及復合型的專業(yè)知識結(jié)構(gòu)和強大的學習能力。他們需要對高純?yōu)R射靶材技術發(fā)展趨勢有準確的把握，還需要在實際的工藝環(huán)境中積累長期的應用經(jīng)驗，同時還需要具備較強的學習能力，不斷更新知識和技能，以保持競爭力。

五、產(chǎn)業(yè)鏈

1、行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析

濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈上游主要以原材料和生產(chǎn)設備為主，其中原材料包括金屬、合金、陶瓷等原材料，金屬原材料包括銅、鋁、鉻、鎳、鉭等，合金原材料包括鎳鉻合金、鎳鈷合金、鎳鉑合金、鎢鈦合金、鐵鈷合金等，陶瓷原材料包括ITO、二氧化硅、氧化硅、氧化鋅、氧化鈦等。設備包括提純設備、噴涂設備和濺射機臺；濺射靶材中游主要為靶材生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)；濺射靶材下游應用于半導體、平板顯示、光伏、信息存儲、光學應用等領域。濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈如下圖所示：

濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)業(yè)鏈

原材料

中國有色礦業(yè)集團有限公司

紫金礦業(yè)集團股份有限公司

陜西有色金屬控股集團有限責任公司

浙江華友鈷業(yè)股份有限公司

江西銅業(yè)集團有限公司

洛陽欒川鉬業(yè)集團股份有限公司

云南鋁業(yè)股份有限公司

生產(chǎn)設備

致真精密儀器(青島)有限公司

沈陽科晶自動化設備有限公司

宣城開盛新能源科技有限公司

廣東匯成真空科技股份有限公司

上游

寧波江豐電子材料股份有限公司

隆華科技集團(洛陽)股份有限公司

福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司

廣東歐萊高新材料股份有限公司

中游

半導體

平面顯示

光伏

信息存儲

下游

2、行業(yè)領先企業(yè)分析

（1）寧波江豐電子材料股份有限公司

寧波江豐電子材料股份有限公司成立于2005年，是一家專注于超大規(guī)模集成電路制造用超高純金屬材料及濺射靶材研發(fā)生產(chǎn)的企業(yè)。公司產(chǎn)品銷售網(wǎng)絡遍布歐洲、北美和亞洲各地，并廣泛應用于國內(nèi)外知名半導體、平板顯示和太陽能電池制造企業(yè)。江豐電子所研發(fā)生產(chǎn)的超高純金屬濺射靶材完全滿足了國內(nèi)企業(yè)不斷擴大的市場需求，在全球先進技術超大規(guī)模集成電路制造領域得到了批量應用。2023年前三季度，江豐電子營業(yè)收入為18.52億元，同比增長9.84%；研發(fā)投入占營收的比例為6.26%，同比增加1.24個百分點。公司業(yè)績表現(xiàn)良好。為了進一步鞏固市場地位，江豐電子持續(xù)加大研發(fā)投入，并積極推進超高純金屬濺射靶材的擴產(chǎn)項目，加強在半導體精密零部件領域的戰(zhàn)略布局。

（2）隆華科技集團（洛陽）股份有限公司

隆華科技集團（洛陽）股份有限公司成立于1995年，主要從事通用設備制造業(yè)。該公司旗下的電子新材料業(yè)務由豐聯(lián)科光電、晶聯(lián)光電和四豐電子承擔，產(chǎn)品范圍涵蓋金屬及合金靶材以及陶瓷靶材。豐聯(lián)科光電是國內(nèi)鉬靶材市場的領軍企業(yè)，其鉬靶材在國內(nèi)市場的占有率已超過50%。四豐電子則逐步替代進口，提供具有競爭力的鉬靶材產(chǎn)品。晶聯(lián)光電在ITO靶材領域取得了重要突破，打破了日韓技術壁壘，實現(xiàn)了國產(chǎn)ITO靶材的應用于TFT-LCD行業(yè)。2023年上半年，隆華科技電子新材料營業(yè)收入為2.04億元，同比下降17.39%；其毛利率為18.11%，同比減少5.20個百分點。公司電子新材料業(yè)務承壓，部分受上游原材料價格上漲，導致盈利水平下滑。公司強忍陣痛，繼續(xù)解決國產(chǎn)ITO靶材卡脖子問題，逐步穩(wěn)定供貨于京東方、TCL等客戶。隨著靶材國產(chǎn)替代推進，公司濺射靶材有望進一步擴大市場份額。

六、行業(yè)現(xiàn)狀

全球范圍內(nèi)，由于日本、美國等發(fā)達國家在靶材領域起步較早，產(chǎn)業(yè)鏈較為完整，具備規(guī)?；a(chǎn)能力，因此在靶材行業(yè)中占據(jù)了較大的市場份額。據(jù)數(shù)據(jù)顯示，日本日礦金屬是全球最大的靶材供應商，市場份額高達30%；美國霍尼韋爾通過投資并購上游原材料生產(chǎn)廠后，市場份額升至20%；東曹和普萊克斯市場份額分別為20%和10%。全球靶材行業(yè)集中度較高，CR5約為80%。未來隨著集成電路、太陽能電池、平面顯示行業(yè)快速發(fā)展，將大幅拉動上游濺射靶材的需求量。

根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)顯示，預計全球濺射靶材市場規(guī)模將從2022年的57.9億美元增長至2025年的69.8億美元，復合增長率為6.4%；中國濺射靶材市場規(guī)模將從2022年的12.2億美元增長至2025年的20.3億美元，復合增長率為18.0%。在這樣的市場環(huán)境下，中國靶材行業(yè)正在迅速崛起。近年來，中國政府大力支持多項科技創(chuàng)新計劃和產(chǎn)業(yè)升級政策，推動了國內(nèi)靶材行業(yè)的發(fā)展。隨著中國靶材企業(yè)持續(xù)擴大生產(chǎn)規(guī)模、提高產(chǎn)品質(zhì)量和技術水平，其在全球靶材市場中的地位不斷提升。

七、發(fā)展因素

1、機遇

（1）政策扶持推動濺射靶材行業(yè)發(fā)展

中國政府一直以來都非常注重高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。為了推動濺射靶材行業(yè)的發(fā)展，政府出臺了一系列政策措施。2016年，工信部等四部門印發(fā)《新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展指南》，明確要發(fā)展新一代信息技術產(chǎn)業(yè)用材料，包括高純金屬及合金濺射靶材生產(chǎn)技術研發(fā)。此后，高性能濺射靶材被列入《“十三五”材料領域科技創(chuàng)新專項規(guī)劃》《“十三五”先進制造技術領域科技創(chuàng)新專項規(guī)劃》《產(chǎn)業(yè)關鍵共性技術發(fā)展指南（2017年）》《新材料關鍵技術產(chǎn)業(yè)化實施方案》《重點新材料首批次應用示范指導目錄（2019年版）》《重點新材料首批次應用示范指導目錄（2021年版）》等多項產(chǎn)業(yè)政策文件中。在中國政策的支持之下，中國濺射靶材行業(yè)的發(fā)展得到有利推動。

（2）技術進步提升中國濺射靶材產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)能

隨著國內(nèi)科技水平不斷提高，中國濺射靶材行業(yè)的技術水平也在不斷提升?，F(xiàn)在，國內(nèi)的濺射靶材企業(yè)已經(jīng)具備了獨立研發(fā)和生產(chǎn)的能力，可以生產(chǎn)出一系列高品質(zhì)、高性能的濺射靶材產(chǎn)品。同時，隨著技術的進步，中國濺射靶材企業(yè)的產(chǎn)能也在不斷提高。近年來，中國濺射靶材廠家先后投入了大量資金進行設備更新和工藝優(yōu)化，加快了生產(chǎn)速度，提高了生產(chǎn)效率。這些技術進步為中國濺射靶材行業(yè)的發(fā)展提供了堅實的支撐。

（3）市場需求增長推動中國濺射靶材行業(yè)發(fā)展

從當前全球范圍來看，集成電路、太陽能電池、平面顯示等產(chǎn)品的需求量正在逐年增長。而這些產(chǎn)品都需要濺射靶材作為關鍵材料。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，未來幾年內(nèi)，全球濺射靶材市場規(guī)模將會持續(xù)擴大，并且中國濺射靶材市場規(guī)模的復合增長率還將高達18.0%。這意味著，中國濺射靶材企業(yè)有更多的機會涉足國際市場，同時也將帶動國內(nèi)的濺射靶材行業(yè)的產(chǎn)能提升和技術創(chuàng)新。因此，市場需求增長有助于推動中國濺射靶材行業(yè)的發(fā)展，提升其在全球靶材市場中的地位。

2、挑戰(zhàn)

（1）高純金屬材料依賴進口采購

濺射靶材作為關鍵材料，在薄膜工業(yè)化制備中發(fā)揮著重要作用。其性能直接影響著最終產(chǎn)品的性能、質(zhì)量和壽命，特別是在半導體集成電路、平面顯示、太陽能電池等領域，對濺射靶材純度要求極高。然而，目前中國在濺射靶材原材料領域仍面臨一定程度的依賴進口的問題，尤其是高純金屬材料方面。這種依賴進口的局面在當前全球經(jīng)濟形勢不穩(wěn)定、國際貿(mào)易摩擦加劇的背景下，給中國濺射靶材行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展帶來了不確定性和風險。

（2）專業(yè)技術研發(fā)人才緊缺

濺射靶材行業(yè)是資金和技術密集型行業(yè)，這需要擁有專業(yè)的技術團隊和頂尖的技術人才，以實現(xiàn)核心技術突破和生產(chǎn)工藝創(chuàng)新。然而，由于我國濺射靶材行業(yè)發(fā)展時間較短，技術水平相對較低，人才的培養(yǎng)周期較長，高端、專業(yè)和復合型人才的缺乏仍然十分緊缺。隨著下游應用領域的快速發(fā)展和市場需求的持續(xù)擴大，對企業(yè)的研發(fā)創(chuàng)新能力要求也在不斷提高。這就需要行業(yè)內(nèi)的企業(yè)加大對人才的培養(yǎng)和引進，建立穩(wěn)定的人才隊伍。同時，需要加強與高校和科研機構(gòu)之間的合作，吸納更多的優(yōu)秀人才參與到濺射靶材行業(yè)的研發(fā)和生產(chǎn)中來。這有助于提升行業(yè)的技術水平和創(chuàng)新能力，滿足市場需求，推動整個行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。

（3）技術和設備水平相對滯后

中國濺射靶材行業(yè)在技術和設備方面雖然有一定進展，但與國際領先水平相比仍存在差距。一方面，國內(nèi)濺射靶材企業(yè)在關鍵技術研發(fā)上相對薄弱，缺乏核心技術的自主創(chuàng)新能力。雖然已有一些技術突破和創(chuàng)新成果，但整體上還無法與國際先進水平媲美。與此同時，國內(nèi)濺射靶材生產(chǎn)設備還存在一些問題，例如生產(chǎn)效率低、能耗高等。這些問題不僅制約了行業(yè)的發(fā)展速度，也增加了企業(yè)的生產(chǎn)成本。這些不利因素制約了中國濺射靶材行業(yè)的進一步發(fā)展。

八、競爭格局

目前中國濺射靶材行業(yè)主要生產(chǎn)低附加值的中低檔產(chǎn)品，與國際知名企業(yè)相比，在高純度靶材市場上的影響力有限。然而，由于受到國家戰(zhàn)略的大力支持，中國本土專業(yè)從事靶材研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)不斷增加，如江豐電子、隆華科技、有研新材等。這些企業(yè)積極參與高端靶材國際化市場競爭。目前，中國已經(jīng)實現(xiàn)了高純鉬靶材和ITO靶材的技術突破。借助中國本土資源優(yōu)勢，如高純鉬粉、高純銦等原材料，中國具備了相對有競爭力的產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢。因此，未來中國在高純靶材供應本土化方面有望進一步加速，這些進展使得中國濺射靶材行業(yè)在高端市場上逐漸嶄露頭角。隨著技術的不斷發(fā)展和經(jīng)驗的積累，中國廠商有望提升在高純度靶材市場的競爭力，并與國際知名企業(yè)展開更為激烈的競爭。

九、發(fā)展趨勢

1、國產(chǎn)化進程加速，國內(nèi)濺射靶材廠商迎來良好發(fā)展機遇

濺射靶材是各類薄膜材料工業(yè)化制備的關鍵材料，其純度、致密度、品質(zhì)等均會影響鍍膜效率和成本，并對膜層性能、最終產(chǎn)品的質(zhì)量和性能起著至關重要的作用。在受到國際局勢動蕩影響之下，國內(nèi)濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化趨勢得到重視。通過加強對關鍵技術的研發(fā)投入，推進裝備技術升級，注重開發(fā)新產(chǎn)品，中國濺射靶材企業(yè)可以提高自身的技術水平和市場競爭力。國內(nèi)濺射靶材廠商進入下游知名制造廠商的供應體系，也為其提供良好的發(fā)展機遇，有助于快速縮小與國際大型廠商之間的差距。這樣的發(fā)展趨勢不僅有利于實現(xiàn)我國重點領域的自主可控，也有助于保障上游關鍵材料的供應安全，推動整個濺射靶材產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。

2、上游濺射靶材和下游應用市場協(xié)同發(fā)展，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)聯(lián)動

隨著顯示面板產(chǎn)能轉(zhuǎn)移、半導體國產(chǎn)化進程加速以及太陽能電池市場的不斷增長，國內(nèi)廠商在下游應用市場中的份額不斷提高。這得益于國內(nèi)市場需求的拉動、國家政策的支持以及資本的引導扶持等多重因素的共同推動。國內(nèi)下游產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展為本土濺射靶材廠商帶來了巨大的機遇。通過上下游產(chǎn)業(yè)的協(xié)同發(fā)展，可以推動關鍵領域技術的突破。在濺射靶材工藝設計、薄膜性能分析以及終端產(chǎn)品制造環(huán)節(jié)，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)聯(lián)動發(fā)展，從而增強國內(nèi)濺射靶材和下游顯示面板、半導體集成電路以及太陽能電池廠商的全球競爭力。

3、下游應用領域發(fā)展升級，提高濺射靶材技術和性能要求

隨著新技術和產(chǎn)品的不斷推出，下游應用領域如平面顯示、半導體集成電路和太陽能電池等持續(xù)發(fā)展升級。消費者對于顯示屏的性能要求也越來越高，目前市場上的LCD和OLED產(chǎn)品都在不斷追求更清晰、更靈敏、更便攜的特性。同時，半導體集成電路的發(fā)展也在遵循摩爾定律，制程已經(jīng)進入到7納米及更先進的階段。高性能濺射靶材行業(yè)的發(fā)展與下游產(chǎn)業(yè)的市場需求和技術革新密切相關。隨著終端用戶需求的不斷擴大，以及高性能薄膜材料和磁控濺射技術的快速發(fā)展，濺射靶材正朝著高純度、大尺寸、高密度、高濺射速率和高利用率等方向迅速發(fā)展。