研判2025！中國半導體行業(yè)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈、市場規(guī)模及重點企業(yè)分析：技術壁壘高，國產(chǎn)替代仍處關鍵突破期[圖]

三、市場規(guī)模

雖然相比歐美等發(fā)達國家，我國大陸等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)起步比較晚，但近年來展現(xiàn)出了快速的發(fā)展勢頭。2024年，中國大陸等離子體射頻電源系統(tǒng)市場規(guī)模約為123.3億元，同比增長9.50%。從市場結構看，半導體領域仍是最大應用市場，占比超50%，主要受益于中芯國際、長江存儲等晶圓廠的擴產(chǎn)及國產(chǎn)設備替代進程加速。光伏領域受Topcon、HJT電池技術驅動；顯示面板領域因OLED、Micro LED技術而發(fā)展。

中國半導體行業(yè)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)近年來發(fā)展迅速，但整體仍處于國產(chǎn)替代的關鍵階段。2024年，中國大陸半導體行業(yè)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)市場規(guī)模約為64.3億元，同比增長10.10%。等離子體射頻電源系統(tǒng)是半導體設備零部件國產(chǎn)化最難關卡之一，其國產(chǎn)化率極低，屬于被“卡脖子”最嚴重的環(huán)節(jié)之一。這主要是因為半導體設備及零部件行業(yè)具有“精確復制”的要求，以保障晶圓廠在產(chǎn)能快速擴張下的芯片品質，而在此情況下，等離子體射頻電源系統(tǒng)的量產(chǎn)必須確保高度穩(wěn)定和可重復的生產(chǎn)工藝，并且需經(jīng)過精密的校準和嚴格的測試流程，以保證性能的一致性和長期穩(wěn)定性。

四、重點企業(yè)經(jīng)營情況

中國半導體行業(yè)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)呈現(xiàn)國際巨頭主導、國產(chǎn)廠商加速追趕的競爭格局。國際廠商如MKS、AE憑借技術優(yōu)勢占據(jù)全球及中國市場主導地位，尤其在高端市場形成壟斷。國內(nèi)龍頭企業(yè)如恒運昌、英杰電氣、北方華創(chuàng)等通過技術突破逐步實現(xiàn)國產(chǎn)替代，但整體國產(chǎn)化率仍處于低位，高端產(chǎn)品仍依賴進口。

四川英杰電氣股份有限公司是國內(nèi)綜合性工業(yè)電源研發(fā)及制造領域具有較強實力和競爭力的企業(yè)之一，主要專注于電力電子技術在工業(yè)各領域的應用。近年來，公司加大了在半導體及電子材料領域的投入，重點攻關半導體刻蝕、薄膜沉積（CVD/PECVD）、離子注入等關鍵制程電源技術。部分型號射頻電源已實現(xiàn)量產(chǎn)，覆蓋5nm刻蝕及PECVD等先進制程。英杰電氣的射頻電源產(chǎn)品在半導體領域主要用于刻蝕、物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）、等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）等關鍵工藝環(huán)節(jié)。2025年上半年，英杰電氣營業(yè)收入為7.22億元，同比下降9.42%；歸母凈利潤為1.19億元，同比下降32.71%。

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司全資子公司北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司在2020年收購了北京北廣科技股份有限公司射頻應用技術相關資產(chǎn)。北京北廣科技股份有限公司系前身建于1950年的北京廣播器材廠，以射頻技術和數(shù)字技術為核心。北方華創(chuàng)在等離子體射頻電源系統(tǒng)領域，通過整合北廣科技的射頻技術，協(xié)同打造了全頻段、多功率、收發(fā)一體的系列智能無線電裝備。這使得北方華創(chuàng)在半導體設備領域具備了強大的技術基礎和研發(fā)能力，能夠為半導體制造提供高性能的射頻電源系統(tǒng)解決方案。2025年上半年，北方華創(chuàng)營業(yè)收入為161.42億元，同比增長29.51%；歸母凈利潤為32.08億元，同比增長14.97%。

五、行業(yè)發(fā)展趨勢

1、技術創(chuàng)新升級，推動行業(yè)核心突破

隨著半導體工藝向3nm及以下先進制程演進，等離子體射頻電源系統(tǒng)需實現(xiàn)更高頻率（如微波段）、更大功率（百kW級）及更智能控制。例如，AI動態(tài)調功技術可實時優(yōu)化功率輸出，適應3D NAND高深寬比刻蝕、FinFET尺寸縮小等復雜工藝需求。同時，全數(shù)字控制技術將取代傳統(tǒng)模擬電路，提升信號處理精度與響應速度，實現(xiàn)微秒級阻抗匹配。此外，高頻磁性材料、碳化硅功率器件等關鍵部件的國產(chǎn)化突破，將降低對進口依賴，提升產(chǎn)業(yè)鏈自主可控能力。預計到2030年，國產(chǎn)射頻電源在7nm以下制程的滲透率將顯著提升，支撐國產(chǎn)半導體設備在全球市場的競爭力。

2、市場需求增長，推動高性能應用

制程節(jié)點的演進和芯片及工藝復雜度的提升，將帶動薄膜沉積和刻蝕等半導體設備用量的大幅增加，配套等離子體射頻電源系統(tǒng)的用量及價值占比也將持續(xù)提升。隨著制程節(jié)點的不斷演進，薄膜沉積設備和刻蝕設備等半導體設備的需求將持續(xù)上升。等離子體射頻電源系統(tǒng)作為這些設備的核心零部件，其性能直接影響晶圓制造工藝的能力、良率和效率。

3、加快產(chǎn)業(yè)鏈整合，推動國產(chǎn)替代加速

在當前復雜的國際地緣政治形勢下，歐美等國對我國半導體產(chǎn)業(yè)的限制加劇，我國半導體產(chǎn)業(yè)的供應鏈安全面臨嚴峻挑戰(zhàn)。半導體設備廠商對于零部件自主可控的要求愈發(fā)緊迫，尤其是等離子體射頻電源系統(tǒng)這類“卡脖子”的核心零部件。目前，中國大陸半導體領域等離子體射頻電源系統(tǒng)國產(chǎn)化率仍較低，未來國產(chǎn)替代空間廣闊。以深圳市恒運昌真空技術股份有限公司為代表的國產(chǎn)供應商，經(jīng)過多年的技術沉淀和產(chǎn)品迭代，已經(jīng)逐漸取得半導體設備商和晶圓廠的產(chǎn)品和技術驗證，并實現(xiàn)了等離子體射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)品的國產(chǎn)替代和批量供貨。未來，隨著國產(chǎn)技術的不斷進步和市場份額的持續(xù)擴大，國產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)有望在半導體領域占據(jù)更重要的地位。