晶瑞股份購(gòu)得ASML XT 1900Gi型光刻機(jī)一臺(tái)，已搬入公司高端光刻膠研發(fā)實(shí)驗(yàn)室[圖]

    1月19日晚間，晶瑞股份發(fā)布公告稱，經(jīng)公司多方協(xié)商、積極運(yùn)作，順利購(gòu)得ASML XT 1900Gi型光刻機(jī)一臺(tái)。該設(shè)備于2021年1月19日運(yùn)抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發(fā)實(shí)驗(yàn)室。下一步，公司將積極組織相關(guān)資源，盡快完成設(shè)備的安裝調(diào)試工作。

    該型號(hào)光刻機(jī)可用于研發(fā)最高分辨率達(dá)28nm的高端光刻膠。該型號(hào)光刻機(jī)為十年前的產(chǎn)品，本是中國(guó)第一批浸沒式光刻機(jī)，由無錫SK海力士購(gòu)入。不過之后由于SK海力士工廠起火，更換了制程，這些設(shè)備又被運(yùn)到韓國(guó)。現(xiàn)在，其中一臺(tái)設(shè)備又被晶瑞股份購(gòu)得。

蘇州晶瑞化學(xué)股份有限公司關(guān)于購(gòu)買光刻機(jī)設(shè)備進(jìn)展情況的公告

資料來源：公司官網(wǎng)、智研咨詢整理

    蘇州晶瑞化學(xué)股份有限公司量產(chǎn)光刻膠近30年，組建了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的光刻膠研發(fā)團(tuán)隊(duì)，具有豐富的光刻膠研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，先后承擔(dān)了國(guó)家“85”攻關(guān)、“863”重大專項(xiàng)、科技部創(chuàng)新基金等科技項(xiàng)目、承擔(dān)了國(guó)家02重大專項(xiàng)“i線光刻膠產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，并順利通過國(guó)家02重大專項(xiàng)驗(yàn)收。

    2019年晶瑞股份營(yíng)業(yè)收入為7.56億元，利潤(rùn)總額為0.46億元；2020年前三季度晶瑞股份營(yíng)業(yè)收入為7.14億元，利潤(rùn)總額為0.77億元。

2015-2020年前三季度晶瑞股份營(yíng)業(yè)收入及利潤(rùn)總額

資料來源：公司官網(wǎng)、智研咨詢整理

    公司完成中試的KrF光刻膠已進(jìn)入客戶測(cè)試階段，達(dá)到0.15μm的分辨率。本次購(gòu)買的ASML光刻機(jī)設(shè)備系公司集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目的必要實(shí)驗(yàn)設(shè)備，旨在研發(fā)出更高端的ArF光刻膠，若研發(fā)工作進(jìn)展順利，將有助于公司將光刻膠產(chǎn)品序列實(shí)現(xiàn)到ArF光刻膠的跨越，并最終實(shí)現(xiàn)應(yīng)用于12英寸芯片制造的戰(zhàn)略布局。